排污允许证申请与核发手艺规范 电子工业(HJ1031-2019)

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2019-07-29
简介
为完善排污允许手艺支持系统,指导和规范电子工业排污单元排污允许证申请与核发事情,制订了《排污允许证申请与核发手艺规范电子工业(HJ1031-2019)》,并划定了电子工业排污单元排污允许证申请与核发的基本情形填报要求、允许排放限值确定、现实排放量核算和合规判断的要领,以及自行监测、情形治理台账与排污允许证执行陈诉等情形治理要求,提出了电子工业排污单元污染防治可行手艺要求。

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中华人民共和国国家情形掩护尺度HJ1031—2019排污允许证申请与核发手艺规范电子工业Technicalspecificationforapplicationandissuanceofpollutantpermit-Electronicsindustry(宣布稿)本电子版为宣布稿,请以中国情形出书整体出书的正式尺度版本为准。2019-07-23宣布2019-07-23实验生生生生态态态态环环环情形境境境部部部部宣布i目录前言.....................................................................................................................................................................ii1适用规模.......................................................................................................................................................12规范性引用文件...........................................................................................................................................13术语和界说...................................................................................................................................................24排污单元基本情形填报要求........................................................................................................................35产排污环节对应排放口及允许排放限值确定要领..................................................................................156污染防治可行手艺要求..............................................................................................................................207自行监测治理要求.....................................................................................................................................218情形治理台账纪录与排污允许证执行陈诉体例要求..............................................................................259现实排放量核算要领..................................................................................................................................2810合规判断要领...........................................................................................................................................32附录A(资料性附录)电子工业产物名称参考表...............................................................................35附录B(资料性附录)废气和废水防治可行手艺参考表...................................................................39附录C(资料性附录)情形治理台账纪录参考表...............................................................................43附录D(资料性附录)排污允许证年度执行陈诉表格形式(重点治理).......................................48附录E(资料性附录)排污允许证年度执行陈诉表格形式(简化治理)........................................63附录F(资料性附录)挥发性有机物现实排放量盘算推荐性要领....................................................73ii前言为贯彻落实《中华人民共和国情形掩护法》《中华人民共和国大气污染防治法》《中华人民共和国水污染防治法》《中华人民共和领土壤污染防治法》等执律例则、《国务院办公厅关于印发控制污染物排放允许制实验方案的通知》(国办发〔2016〕81号)和《排污允许治理措施(试行)》(情形掩护部令第48号),完善排污允许手艺支持系统,指导和规范电子工业排污单元排污允许证申请与核发事情,制订本尺度。本尺度划定了电子工业排污单元排污允许证申请与核发的基本情形填报要求、允许排放限值确定、现实排放量核算和合规判断的要领,以及自行监测、情形治理台账与排污允许证执行陈诉等情形治理要求,提出了电子工业排污单元污染防治可行手艺要求。本尺度附录A~附录F为资料性附录。本尺度为首次宣布。本尺度由生态情形部情形影响评价与排放治理司、规则与尺度司组织制订。本尺度主要起草单元:中国电子工程设计院有限公司、中国情形科学研究院、中国电子信息行业团结会、生态情形部情形妄想院、北京市情形掩护科学研究院。本尺度生态情形部2019年07月23日批准。本尺度自2019年07月23日起实验。本尺度由生态情形部诠释。1排污允许证申请与核发手艺规范电子工业1适用规模本尺度划定了电子工业排污单元排污允许证申请与核发的基本情形填报要求、允许排放限值确定、现实排放量核算和合规判断的要领,以及自行监测、情形治理台账与排污允许证执行陈诉等情形治理要求,提出了电子工业排污单元污染防治可行手艺要求。本尺度适用于指导电子工业排污单元在天下排污允许证治理信息平台填报相关申请信息,同时适用于指导排污允许证核发部门审核确定电子工业排污单元排污允许证允许要求。本尺度适用于电子工业排污单元排放大气污染物、水污染物的排污允许治理。有电镀工序的电子工业排污单元,适用于本尺度。电子工业排污单元中,执行《锅炉大气污染物排放尺度》(GB13271)的生产设施和排放口,适用于《排污允许证申请与核发手艺规范锅炉》(HJ953)。本尺度未做划定但排下班业废水、废气或者国家划定的有毒有害污染物的电子工业排污单元其他产污设施和排放口,参照《排污允许证申请与核发手艺规范总则》(HJ942)执行。2规范性引用文件本尺度内容引用了下列文件或者其中的条款。通常不注日期的引用文件,其有用版本适用于本尺度。GB8978污水综合排放尺度GB13271锅炉大气污染物排放尺度GB/T16157牢靠污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样要领GB16297大气污染物综合排放尺度GB18597危险废物贮存污染控制尺度GB37822挥发性有机物无组织排放控制尺度GB□□电子工业污染物排放尺度HJ/T55大气污染物无组织排放监测手艺导则HJ/T91地表水和污水监测手艺规范HJ/T298危险废物判别手艺规范HJ/T353水污染源在线监测系统安装手艺规范(试行)HJ/T354水污染源在线监测系统验收手艺规范(试行)HJ/T355水污染源在线监测系统运行与审核手艺规范(试行)HJ/T356水污染源在线监测系统数据有用性判别手艺规范(试行)HJ/T373牢靠污染源监测质量保证与质量控制手艺规范(试行)HJ/T397牢靠源废气监测手艺规范2HJ493水质样品的生涯和治理手艺划定HJ494水质采样手艺指导HJ495水质采样方案设计手艺划定HJ521废水排放纪律代码(试行)HJ608排污单元编码规则HJ732牢靠污染源废气挥发性有机物的采样气袋法HJ819排污单元自行监测手艺指南总则HJ942排污允许证申请与核发手艺规范总则HJ944排污单元情形治理台账及排污允许证执行陈诉手艺规范总则(试行)HJ953排污允许证申请与核发手艺规范锅炉《国务院关于印发打赢蓝天守卫战三年行动妄想的通知》(国发〔2018〕22号)《国务院关于印发“十三五”生态情形掩护妄想的通知》(国发〔2016〕65号)《排污允许治理措施(试行)》(情形掩护部令第48号)《国家危险废物名录》(情形掩护部令第39号)《有毒有害大气污染物名录》(生态情形部通告2019年第4号)《关于京津冀大气污染传输通道都市执行大气污染物特殊排放限值的通告》(情形掩护部通告2018年第9号)《优先控制化学品名录(第一批)》(情形掩护部通告2017年第83号)《关于执行大气污染物特殊排放限值的通告》(情形掩护部通告2013年第14号)《挥发性有机物(VOCs)污染防治手艺政策》(情形掩护部通告2013年第31号)《关于增强牢靠污染源氮磷污染防治的通知》(环水体〔2018〕16号)《关于执行大气污染物特殊排放限值有关问题的复函》(环办大气函〔2016〕1087号)《污染源自动监控设施运行治理措施》(环发〔2008〕6号)《排污口规范化整治手艺要求(试行)》(环监〔1996〕470号)《牢靠污染源排污允许分类治理名录》3术语和界说下列术语和界说适用于本尺度。3.1电子工业排污单元electronicsindustrypollutantemissionunit指从事生产盘算机、电子器件、电子元件及电子专用质料、其他电子装备的排污单元。3.2盘算机制造排污单元computermanufacturingpollutantemissionunit指从事生产盘算机整机、盘算机零部件、盘算机外围装备、工业控制盘算机及系统、信息清静装备以及其他盘算机的排污单元。3.3电子器件制造排污单元electronicdevicemanufacturingpollutantemissionunit3指从事生产电子真空器件、半导体分立器件、集成电路、显示器件、半导体照明器件、光电子器件以及其他电子器件的排污单元。3.4电子元件制造排污单元electroniccomponentmanufacturingpollutantemissionunit指从事生产电阻电容电感元件、电子电路、敏感元件及传感器、电声器件及零件以及其他电子元件的排污单元。3.5电子专用质料制造排污单元specialelectronicmaterialmanufacturingpollutantemissionunit指从事生产用于电子元器件、组件及系统制备的专用电子功效质料、互联与封装质料、工艺与辅助质料的排污单元。3.6其他电子装备制造排污单元otherelectronicterminalmanufacturingpollutantemissionunit指从事生产电子(气)物理装备以及其他未列明的电子装备的排污单元。3.7允许排放限值permittedemissionlimits指排污允许证中划定的允许电子工业排污单元排放的污染物最大排放浓度(速率)和排放量。3.8特殊时段specialperiods指凭证地方政府依法制订的情形质量限期达标妄想或者其他相关情形治理划定,对电子工业排污单元的污染物排放有特殊要求的时段,包罗重污染天气应对时代及冬防等。3.9挥发性有机物volatileorganiccompounds(VOCs)指加入大气光化学反映的有机化合物,或者凭证有关划定确定的有机化合物。本尺度用非甲烷总烃作为挥发性有机物排放的综合控制指标。待《电子工业污染物排放尺度》宣布实验后,从其划定。4排污单元基本情形填报要求4.1基本原则电子工业排污单元应凭证本尺度要求,在天下排污允许证治理信息平台申报系统填报响应信息表。填报系统未包罗的、地方生态情形主管部门有划定需要填报或者电子工业排污单元以为需要填报的,可自行增添内容。设区的市级以上地方生态情形主管部门可以凭证情形掩护地方性规则,增添需要在排污允许证中载明的内容,并填入天下排污允许证治理信息平台申报系统中“有核发权的地方生态情形主管部门增添的治理内容”一栏。4.2排污单元基本信息电子工业排污单元的基本信息应填报申报单元名称、是否需要纠正、排污允许证治理种别、邮政编码、行业种别、是否投产及投产日期、生产谋划场所中央经纬度、所在地是否属于情形敏感区(如大气重点控制区域、总磷总氮控制区等)、是否位于工业园区及所属工业园区名称、情形影响评价审批文号(存案编号)、地方政府对违规项目的认定或者存案文件文号、主要污染物总量控制指标分配妄想文件文号,颗粒物总量指标(t/a)、二氧化硫总量指标(t/a)、氮氧化物总量指标(t/a)、挥发性有机物(VOCs)总量指标(t/a)、化学需氧量总量指标(t/a)、氨氮总量指标(t/a)、涉及的其他污染物总量指标等。4填报行业种别时,生产盘算机整机、盘算机零部件、盘算机外围装备、工业控制盘算机及系统、信息清静装备、其他盘算机等的电子工业排污单元应选择盘算机制造(国民经济代码C391),生产电子真空器件、半导体分立器件、集成电路、显示器件、半导体照明器件、光电子器件等的电子工业排污单元应选择电子器件制造(国民经济代码C397),生产电阻电容电感元件、电子电路、敏感元件及传感器、电声器件及零件、电子专用质料等的电子工业排污单元应选择电子元件及电子专用质料制造(国民经济代码C398),生产其他电子装备的电子工业排污单元应选择其他电子装备制造(国民经济代码C399)。4.3主要产物及产能4.3.1一样寻常原则电子工业排污单元在填报“主要产物及产能”时,凭证所属行业种别,填报主要生产单元名称、主要工艺名称、生产设施名称、生产设施编号、设施参数、产物名称、生产能力、计量单元、设计年生产时间及其他。以下“4.3.2~4.3.6”为必填项,“4.3.7”为选填项。4.3.2主要生产单元、主要工艺及生产设施名称电子工业排污单元凭证所属行业种别划分选择表1-1~表1-5填报主要生产单元、主要工艺及生产设施名称、设施参数等内容。同类型设施填报单台设施参数及设施数目。表1-1盘算机制造排污单元、其他电子装备制造排污单元主要生产单元、主要工艺及生产设施名称一览表行业种别主要生产单元主要工艺生产设施设施参数单元盘算机制造排污单元、其他电子装备制造排污单元电路板三防涂覆生产线涂覆涂覆机涂覆速率mm/min喷漆生产线喷漆喷漆装备喷漆量L/min烘干烘干装备烘干速率个/min注塑生产线注塑注塑机注塑量kg/min电镀生产线电镀电镀装备电镀速率m2/min注:表中未列明的主要生产单元、主要工艺、生产设施按现实生产自行填报,表中所列内容在现实生产中未涉及的可不填;设施参数按设计产能填报。表1-2电子器件制造排污单元主要生产单元、主要工艺及生产设施名称一览表行业种别主要生产单元主要工艺生产设施设施参数单元电子真空器件制造排污单元零件处置赏罚洗濯洗濯机洗濯剂量L/h外貌涂覆有机涂覆涂覆机镀膜速率个/h电镀电镀装备电镀速率个/h半导体分立器件制造、集成电路制造、半导体照明器件制造、光电子器件制造、其他电子器件制造排污单元洗濯洗濯洗濯机洗濯剂量L/h薄膜制备化学气相沉积化学气相沉积装备镀膜速率片/h光刻涂布涂胶机涂胶速率片/h曝光光刻机光刻速率片/h显影显影机显影速率片/h刻蚀湿法刻蚀湿法刻蚀机刻蚀速率片/h干法刻蚀干法刻蚀机刻蚀速率片/h铜制程铜制程铜制程机处置赏罚量片/h封装引脚电镀电镀装备电镀速率个/h5行业种别主要生产单元主要工艺生产设施设施参数单元塑封+烘烤塑封压机、烤箱处置赏罚量个/h显示器件制造排污单元阵列洗濯洗濯机洗濯剂量L/h化学气相沉积化学气相沉积装备镀膜速率片/h涂胶涂胶机涂胶速率片/h光刻光刻机光刻速率片/h显影显影机显影速率片/h湿法刻蚀湿法刻蚀机刻蚀速率片/h干法刻蚀干法刻蚀机刻蚀速率片/h剥离剥离装备处置赏罚量片/h彩膜洗濯洗濯机洗濯剂量L/h涂胶涂胶机涂胶速率片/h光刻光刻机光刻速率片/h显影显影机显影速率片/h剥离ITO剥离装备、RGB剥离装备处置赏罚量片/h成盒洗濯洗濯机洗濯剂量L/h封框涂胶封框涂胶机涂胶速率片/h蒸镀掩模版洗濯洗濯机洗濯剂量L/h化学气相沉积化学气相沉积装备镀膜速率片/h注:表中未列明的主要生产单元、主要工艺、生产设施按现实生产自行填报,表中所列内容在现实生产中未涉及的可不填;设施参数按设计产能填报。表1-3电子元件制造排污单元主要生产单元、主要工艺及生产设施名称一览表行业种别主要生产单元主要工艺生产设施设施参数单元电阻电容电感元件制造、敏感元件及传感器制造、电声器件及零件制造、其他电子元件制造排污单元质料系统开料、修边机床开料量m2/h混淆混淆混淆机混淆速率只/h成型成型成型机成型速率只/h印刷印刷印刷机印刷速率只/h研磨研磨研磨机研磨速率只/h洗濯洗濯洗濯机洗濯速率只/h烘干/烧成烘干/烧成烘干/烧成炉烘干/烧成速率只/h电镀电镀镀镍/镀锡装备电镀速率只/h涂覆涂覆涂覆机涂覆速率只/min点胶点胶点胶机点胶速率只/min电子电路制造排污单元质料系统开料剪板机开料量m2/h洗濯外貌洗濯内层磨板机、喷砂机磨板速率m2/h化学洗濯洗濯机洗濯速率m2/h线路制作底片制作底片制作装备底片制作速率m2/h涂胶涂胶机涂胶速率m2/h显影显影机显影速率m2/h刻蚀刻蚀机刻蚀速率m2/h退膜退膜机退膜速率m2/h棕化氧化棕化线棕化速率m2/h钻孔钻孔钻孔机钻孔速率孔/h电镀镀铜/镀锡镀铜/镀锡装备镀铜/镀锡速率m2/h退锡退锡装备退锡速率m2/h6行业种别主要生产单元主要工艺生产设施设施参数单元防焊印刷防焊印刷防焊印刷装备防焊印刷速率m2/h外貌处置赏罚外貌处置赏罚喷锡装备喷锡速率m2/h沉铜/银/镍/金装备沉铜/银/镍/金速率m2/h成型成型成型机成型速率m2/h有机涂覆有机涂覆涂覆机涂覆速率m2/h注:表中未列明的主要生产单元、主要工艺、生产设施,排污单元现实生产自行填报,表中所列内容在现实生产中未涉及的可不填;设施参数按设计产能填报。表1-4电子专用质料制造排污单元主要生产单元、主要工艺及生产设施名称一览表行业种别主要生产单元主要工艺生产设施设施参数单元电子功效质料制造排污单元刻蚀刻蚀刻蚀机刻蚀速率只/h电蚀电蚀侵蚀机电蚀速率m2/h互联与封装质料制造排污单元合成与设置合成与设置反映釜熟化时间h上胶上胶上胶机上胶速率m/min烘干烘干烘干机烘干速率台/min洗濯洗濯洗濯机洗濯剂量kg/min外貌处置赏罚电镀镀铜/锌/铬装备镀铜/锌/铬速率m2/h有机涂覆有机涂覆涂覆机涂覆速率m2/h工艺与辅助质料制造排污单元配料投料、混淆熔化坩埚处置赏罚量kg/h破损破损破损机处置赏罚量kg/h研磨研磨磨砂机、三辊研磨机处置赏罚量kg/h注:表中未列明的主要生产单元、主要工艺、生产设施按现实生产自行填报,表中所列内容在现实生产中未涉及的可不填;设施参数按设计产能填报。表1-5电子工业排污单元公用工程、环保工程设施及设施参数表主要单元生产设施设施参数单元公用工程供水系统纯水制备与供应设施处置赏罚水量m3/h去离子水制备与供应设施超纯水制备与供应设施软化水制备与供应设施环保工程污水处置赏罚系统车间废水处置赏罚设施设计处置赏罚能力m3/h厂区废水处置赏罚设施废气处置赏罚系统酸/碱/有机/含尘废气处置赏罚系统注:表中未列明的主要单元、生产设施按现实生产自行填报,表中所列内容在现实生产中未涉及的可不填;设施参数按设计能力填报。4.3.3生产设施编号电子工业排污单元填报内部生产设施编号,若排污单元无内部生产设施编号,则凭证HJ608举行编号并填报。4.3.4产物名称产物名称填报参见资料性附录A。74.3.5生产能力及计量单元生产能力为主要产物设计产能,不包罗国家或者地方政府明确划定予以镌汰或者取缔的产能。没有设计产能数据时,以近三年现实产量均值盘算。盘算机整机、盘算机零部件、盘算机外围装备、工业控制盘算机及系统、信息清静装备、其他盘算机的产能单元为台(套、个)/a;电子真空器件、半导体分立器件、集成电路、显示器件、半导体照明器件、光电子器件、其他电子器件的产能单元为片(m2、个)/a;电阻电容电感元件、敏感元件及传感器、电声器件及零件的产能单元为万只/a,电子电路的产能单元为m2/a,电子专用质料的产能单元为kg(只)/a;其他电子装备的产能单元为台(套、个)/a。4.3.6设计年生产时间按情形影响评价文件及审批意见或者地方政府对违规项目的认定或者存案文件中的年生产时间填报。若无相关文件或者文件中未明确生产时间,则按现实生产时间填报。4.3.7其他电子工业排污单元若有需要说明的内容,可填报。4.4主要原辅质料及燃料4.4.1一样寻常原则主要原辅质料及燃料应填报与产排污相关的主要原辅质料及燃料种类、设计年使用量及计量单元;原辅质料中有毒有害因素及占比;燃料因素,包罗灰分、硫分、挥发分、水分、热值;其他。以下“4.4.2~4.4.4”为必填项,“4.4.5”为选填项。4.4.2主要原辅料及燃料种类4.4.2.1主要原辅料a)盘算机制造排污单元、其他电子装备制造排污单元质料种类包罗:HIPS(抗攻击性聚苯乙烯)颗粒、ABS(丙烯腈-苯乙烯-丁二烯共聚物)颗粒、其他。辅料种类包罗:油墨、油漆、固化剂、稀释剂、化镀剂、其他。b)电子器件制造排污单元质料种类包罗:阴极贵金属、荧光粉、衬底、金属靶材、其他。辅料种类包罗:光刻胶、洗濯剂、稀释剂、显影液、刻蚀液、剥离液、特气、其他。c)电子元件制造排污单元(1)电阻电容电感元件、敏感元件及传感器、电声器件及零件、其他电子元件质料种类包罗:铝箔、其他。辅料种类包罗:疏散剂、电镀液、环氧胶、洗濯剂、其他。(2)电子电路质料种类包罗:覆铜板、铜箔、镍片、锡条、挠性基材、其他。辅料种类包罗:电镀液、显影液、刻蚀液、退膜液、油墨、其他。d)电子专用质料制造排污单元8质料种类包罗:衬底、贵金属、铜箔、环氧树脂、石英、其他。辅料种类包罗:研磨液、刻蚀液、电解液、洗濯剂、其他。4.4.2.2燃料种类燃料种类包罗燃料油、自然气、其他。4.4.3设计年使用量及计量单元设计年使用量为与产能相匹配的原辅质料及燃料年使用量。主要原辅质料设计年使用量的计量单元包罗:t/a、kg/a、m3/a、L/a、m2/a、片/a,燃料计量单元划分为t/a,万t/a,Nm3/a,万Nm3/a。4.4.4主要原辅质料有毒有害因素及占比原辅质料中有毒有害因素凭证GB8978中第一类污染物以及《优先控制化学品名录》、《有毒有害大气污染物名录》及其他有关文件划定确定,其占比即其在原辅质料中的含量。原辅质料中不含有毒有害物质或者元素的可不填报。4.4.5其他电子工业排污单元若有需要说明的内容,可填报。4.5产排污环节、污染物及污染治理设施4.5.1一样寻常原则废气产排污环节、污染物及污染防治设施包罗生产设施对应的产排污环节名称、主要污染物项目、排放形式(有组织、无组织)、污染防治设施名称及工艺、是否为可行手艺、有组织排放口编号及名称、排放口设置是否切合要求、排放口类型。废水产排污环节、污染物及污染防治设施包罗废水种别、主要污染物项目、污染防治设施名称及工艺、是否为可行手艺、排放去向、排放方式、排放纪律、排放口编号及名称、排放口设置是否切合要求、排放口类型。4.5.2废气4.5.2.1废气主要产污环节、污染物项目、排放形式及污染防治设施电子工业排污单元的废气主要产污环节名称、主要污染物项目、排放形式及污染防治设施填报内容见表2-1~表2-4。表中未列明的其他生产设施、废气产污环节、污染物项目、排放形式及污染防治设施由排污单元自行填报。电子工业排污单元污染控制项目依据GB16297确定,待《电子工业污染物排放尺度》宣布实验后,从其划定。地方污染物排放尺度有更严要求的,从其划定。9表2-1盘算机制造排污单元、其他电子装备制造排污单元废气产污环节、污染物项目、排放形式及污染防治设施一览表行业种别主要生产单元生产设施废气产污环节污染物项目排放形式污染防治设施排放口类型污染防治设施名称及工艺是否为可行手艺盘算机制造排污单元、其他电子装备制造排污单元电路板三防涂覆生产线、注塑生产线涂覆机、注塑机涂覆、注塑挥发性有机物a有组织有机废气处置赏罚系统:活性炭吸附法、其他□是□否如接纳不属于“6污染防治可行手艺要求”中的手艺,应提供相关证实质料一样寻常排放口喷漆生产线喷漆装备、烘干装备喷漆、烘干挥发性有机物a、苯、甲苯、二甲苯、颗粒物有组织有机废气处置赏罚系统:水帘柜+喷淋塔、水帘柜+喷淋塔+吸附法、其他主要排放口b一样寻常排放口电镀生产线电镀装备电镀硫酸雾、氰化氢等c有组织酸性废气处置赏罚系统:碱液喷淋洗涤吸收法、其他一样寻常排放口a待《电子工业污染物排放尺度》宣布实验后,从其划定。b适用于纳入《牢靠污染源排污允许分类治理名录》重点治理的盘算机制造或者其他电子装备制造排污单元的喷漆生产线有机废气排放口。c污染物项目依据GB16297确定,待《电子工业污染物排放尺度》宣布实验后,从其划定。地方污染物排放尺度有更严酷要求的,从其划定。10表2-2电子器件制造排污单元废气产污环节、污染物项目、排放形式及污染防治设施一览表行业种别主要生产单元生产设施废气产污环节污染物项目排放方式污染防治设施排放口类型污染防治设施名称及工艺是否为可行手艺电子真空器件制造排污单元零件处置赏罚、外貌涂覆洗濯机、涂覆机有机溶剂洗濯、有机涂覆挥发性有机物a有组织有机废气处置赏罚系统:活性炭吸附法、燃烧法、浓缩+燃烧法、其他□是□否如接纳不属于“6污染防治可行手艺要求”中的手艺,应提供相关证实质料一样寻常排放口外貌涂覆电镀装备电镀硫酸雾、氰化氢等d有组织酸性废气处置赏罚系统:碱液喷淋洗涤吸收法、其他一样寻常排放口半导体分立器件制造、集成电路制造、半导体照明器件制造、光电子器件制造、其他电子器件制造排污单元洗濯、光刻、封装洗濯机、光刻机、显影机、涂胶机、塑封压机、烤箱有机溶剂洗濯、光刻、塑封+烘烤挥发性有机物a有组织有机废气处置赏罚系统:活性炭吸附法、燃烧法、浓缩+燃烧法、其他主要排放口b一样寻常排放口洗濯、湿法刻蚀、薄膜制备洗濯机、湿法刻蚀机、化学气相沉积装备硝酸洗濯、湿法刻蚀,化学气相沉积氮氧化物有组织当地处置赏罚系统(POU)、酸性废气处置赏罚系统:电热/燃烧+水洗法、碱液喷淋洗涤吸收法、其他一样寻常排放口洗濯、薄膜制备、刻蚀、封装洗濯机、化学气相沉积装备、干法刻蚀装备、电镀装备酸洗、碱洗、化学气相沉积、干法刻蚀、引脚电镀氟化物、氯化氢、氨、硫酸雾、氰化氢等d有组织当地处置赏罚系统(POU)、酸性处置赏罚系统、碱性处置赏罚系统:酸碱喷淋洗涤吸收法、其他一样寻常排放口显示器件制造排污单元阵列、彩膜、成盒、模组、蒸镀洗濯机、光刻机、显影机、涂胶机、剥离装备有机溶剂洗濯、光刻、剥离、掩模版洗濯挥发性有机物a有组织有机废气处置赏罚系统:活性炭吸附法、燃烧法、浓缩+燃烧法、其他主要排放口c一样寻常排放口洗濯机、湿法刻蚀机、化学气相沉积装备硝酸洗濯、湿法刻蚀、化学气相沉积氮氧化物有组织当地处置赏罚系统(POU)、酸性废气处置赏罚系统:电热/燃烧+水洗法、碱液喷淋洗涤吸收法、其他一样寻常排放口阵列化学气相沉积装备、湿法刻蚀机化学气相沉积、湿法刻蚀氟化物、氯化氢、氨、硫酸雾等d有组织当地处置赏罚系统(POU)、酸性处置赏罚系统、…
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